【摘 要】本文介绍了在光电子器件制造中常用的几种薄膜技术的原理以及各自的特点。 【关键词】薄膜 原理 应用 光电子器件 一、前言 近年来，国内外正掀起“光电子学”和“光电子产业”的热潮，光电子技术已经在信息、能源、材料、航空航天、生命科学、环境科学和军事国防等诸多领域发挥着重要作用。光电子学是从上世纪七十年代，在光学、电子学及相关学科的基础上发展起来的一门科..
